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掺杂SnO₂透明导电薄膜电学及光学性能研究

郭玉忠 , 王剑华 , 黄瑞安 , 王贵青

无机材料学报

通过实验测量 ｓｏｌ－ｇｅｌ工艺制备的 Ｓｂ掺杂 ＳｎＯ２薄膜载流子浓度、迁移率、电阻率、膜厚，紫外－可见光区透射率、反射率等性质，详细研究了Ｓｂ掺杂ＳｎＯ_２薄膜电学与光学性能．实验发现，薄膜具有良好的透光性和较高导电性，膜内载流子浓度高达１０^２０ｃｍ^－３，电阻率～１０^－２Ω·ｃｍ，透光率高达 ９０％，ＳｎＯ_２膜禁带宽度 Ｅ_ｇ≈３７～３．８０ｅＶ．

关键词: Sb掺杂SnO₂薄膜 , conductivity measurements , transmittance and reflectivity